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　　創(chuàng)新是企業(yè)發(fā)展的必由之路。在國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體專(zhuān)用設(shè)備領(lǐng)域享有很高聲譽(yù)的中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十五研究所憑借自身多年的技術(shù)積累，不斷創(chuàng)新，他們研發(fā)的SSJ-100超聲掃描顯微鏡榮獲“第四屆（2009年度）中國(guó)半導(dǎo)體創(chuàng)新產(chǎn)品和技術(shù)”獎(jiǎng)。

　　超聲掃描顯微鏡擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)

　　四十五所是國(guó)內(nèi)從事半導(dǎo)體專(zhuān)用設(shè)備技術(shù)、整機(jī)系統(tǒng)和應(yīng)用工藝研發(fā)與生產(chǎn)制造的專(zhuān)業(yè)化科研生產(chǎn)單位，擁有專(zhuān)業(yè)的研發(fā)團(tuán)隊(duì)及加工技術(shù)，在微電子學(xué)、精密光學(xué)、計(jì)算機(jī)應(yīng)用、自動(dòng)控制、精密機(jī)械及系統(tǒng)工程等諸多技術(shù)應(yīng)用方面居國(guó)內(nèi)領(lǐng)先地位。該所副所長(zhǎng)裴二章介紹說(shuō)，四十五所是國(guó)內(nèi)唯一可提供投影光刻機(jī)整機(jī)產(chǎn)品、開(kāi)展整線服務(wù)的企業(yè)，其研制的產(chǎn)品涉及4大領(lǐng)域10大門(mén)類(lèi)100多個(gè)品種，現(xiàn)已形成以光刻機(jī)為龍頭，晶圓加工設(shè)備、芯片封裝設(shè)備及電子元件設(shè)備等門(mén)類(lèi)齊全、系列配套的產(chǎn)品體系。

　　在多年積淀的技術(shù)基礎(chǔ)上，四十五所厚積薄發(fā)，近幾年在太陽(yáng)能、LED、器件關(guān)鍵封裝等半導(dǎo)體專(zhuān)用設(shè)備領(lǐng)域都有新品推出，SSJ-100超聲掃描顯微鏡就是其中之一。

　　四十五所研發(fā)的超聲掃描顯微鏡是一種離線的檢測(cè)分析設(shè)備，在失效分析、工藝過(guò)程開(kāi)發(fā)、關(guān)鍵生產(chǎn)工序的監(jiān)控及小批量產(chǎn)品檢測(cè)方面有很大的優(yōu)勢(shì)，填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)空白，并且在各類(lèi)超聲圖像的構(gòu)建與分析、超聲發(fā)射接收裝置、聚焦承片裝置等多方面擁有相關(guān)專(zhuān)利及自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的核心技術(shù)。該產(chǎn)品可用于各類(lèi)半導(dǎo)體器件封裝如QFN、BGA、FlipChip、CSP、MCM等內(nèi)部損傷及不連續(xù)性等各種缺陷的無(wú)損檢測(cè)及可視化分析，并可用于MEMS的內(nèi)部無(wú)損檢測(cè)、制造工藝分析以及陶瓷、玻璃、金屬、塑料等各種材料的特征、特性分析。相對(duì)于X射線的無(wú)損檢測(cè)，超聲掃描顯微鏡可以完整反映器件內(nèi)部粘接層、填充層、結(jié)合層等各方面的內(nèi)部缺陷，作為無(wú)損檢測(cè)的新一代技術(shù)，它擁有不可替代的優(yōu)勢(shì)。

　　裴二章表示，經(jīng)過(guò)四十五所傾力技術(shù)研發(fā)及市場(chǎng)推廣，SSJ-100已擁有豐富的實(shí)際檢測(cè)經(jīng)驗(yàn)及廣泛的用戶基礎(chǔ)，并以良好的技術(shù)支持切實(shí)為用戶解決問(wèn)題，在與國(guó)外同類(lèi)產(chǎn)品的競(jìng)標(biāo)中獲得了用戶的認(rèn)可，受到了眾多用戶的好評(píng)。該產(chǎn)品不但在技術(shù)上成為用戶產(chǎn)品生產(chǎn)的可靠保障，而且真正降低了國(guó)內(nèi)用戶的生產(chǎn)成本。

　　“為了使新產(chǎn)品的連續(xù)性更好，我們后續(xù)將開(kāi)發(fā)匹配批量生產(chǎn)的在線式高速超聲掃描顯微鏡，在保證分辨率和檢測(cè)精度的情況下，適應(yīng)生產(chǎn)線的速度，以實(shí)現(xiàn)對(duì)產(chǎn)品的完全檢測(cè)。”裴二章說(shuō)。

　　多管齊下產(chǎn)品涉及眾多領(lǐng)域

　　SSJ-100超聲掃描顯微鏡是四十五所近幾年來(lái)新產(chǎn)品自主研發(fā)和技術(shù)創(chuàng)新的縮影，在半導(dǎo)體材料加工、集成電路、分立器件、太陽(yáng)能光伏、LED及特種器件制造等領(lǐng)域，四十五擁有自主研發(fā)、生產(chǎn)及產(chǎn)品設(shè)備配套能力。

　　裴二章說(shuō)，面對(duì)下游產(chǎn)業(yè)的萎縮，四十五所敢于應(yīng)對(duì)危機(jī)，勇于創(chuàng)新，以提高設(shè)備技術(shù)水平，掌握市場(chǎng)主動(dòng)權(quán)。圍繞大尺寸圓片級(jí)晶圓封裝、高亮度發(fā)光二極管、太陽(yáng)能光伏、集成電路制造和半導(dǎo)體封裝等產(chǎn)業(yè)，四十五所進(jìn)行了新產(chǎn)品開(kāi)發(fā)、產(chǎn)品技術(shù)升級(jí)和換代。目前，該所已有多項(xiàng)新產(chǎn)品推向市場(chǎng)，如應(yīng)用于12英寸晶圓封裝的清洗、電鍍、刻蝕、顯影、剝離、減薄、劃片、測(cè)試設(shè)備等；應(yīng)用于太陽(yáng)能光伏領(lǐng)域的大尺寸多線切割機(jī)、單晶及多晶全自動(dòng)制絨機(jī)、多晶大生產(chǎn)用156mm高效半自動(dòng)印刷機(jī)、全自動(dòng)印刷機(jī)、600片大容量清洗甩干機(jī)等；應(yīng)用于半導(dǎo)體前后道工序生產(chǎn)設(shè)備的單片腐蝕清洗機(jī)、晶圓凸點(diǎn)電鍍系統(tǒng)；應(yīng)用于LED生產(chǎn)的單面拋光機(jī)、全自動(dòng)分選撿片機(jī)、多圓片平面式固晶機(jī)、半自動(dòng)共晶焊線機(jī)以及應(yīng)用于PCB生產(chǎn)的AOI設(shè)備等。

　　在厚膜混合集成電路制造領(lǐng)域，四十五所能夠提供從圖形印刷到烘干燒結(jié)等關(guān)鍵生產(chǎn)設(shè)備的生產(chǎn)制造線。另外，該所的高速全自動(dòng)鍵合機(jī)預(yù)計(jì)今年下半年推向市場(chǎng)；大功率激光劃片機(jī)、飛針測(cè)試系統(tǒng)和超聲波檢測(cè)儀等已投入使用。

　　在LTCC的生產(chǎn)制程中，四十五所的切片機(jī)、JHQ-800激光劃切機(jī)、WY-267精密電子網(wǎng)版印刷機(jī)、自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)、飛針測(cè)試系統(tǒng)、MCM-100聲學(xué)掃描檢測(cè)系統(tǒng)等設(shè)備，已實(shí)現(xiàn)全線設(shè)備國(guó)產(chǎn)化，替代了進(jìn)口。