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　　用于液晶面板、有機(jī)EL面板以及電子紙等顯示面板驅(qū)動(dòng)用途的氧化物半導(dǎo)體TFT的研發(fā)越來(lái)越活躍。其中，作為驅(qū)動(dòng)有機(jī)EL面板的TFT的有力候補(bǔ)，氧化物TFT更是備受關(guān)注。與原來(lái)采用非晶硅的TFT相比，氧化物半導(dǎo)體TFT的載流子遷移率高達(dá)10cm22/Vs，是前者的10倍左右，這樣便容易提高有機(jī)EL面板的亮度。另外，氧化物TFT的特性不均現(xiàn)象較小，并且電流的時(shí)變也較少?？奢p松控制有機(jī)EL面板的顯示不均現(xiàn)象，適用于大面積化用途。此外，由于可采用濺鍍法制作，導(dǎo)入時(shí)無(wú)需大幅改進(jìn)現(xiàn)有液晶面板的生產(chǎn)線。

　　鑒于這些優(yōu)點(diǎn)，韓國(guó)LG顯示器、韓國(guó)三星電子、臺(tái)灣友達(dá)光電（AU ptronics）等韓國(guó)及臺(tái)灣的大型面板廠商紛紛開(kāi)始致力于氧化物TFT的開(kāi)發(fā)，日本廠商最近也開(kāi)始加大開(kāi)發(fā)力度。

　　夏普在2009年12月舉辦的顯示器技術(shù)國(guó)際學(xué)會(huì)“16th InternationalDisplay Workshops（IDW ’09）”上公開(kāi)了采用氧化物TFT的2.6英寸QVGA（320×240像素）液晶面板。氧化物半導(dǎo)體采用IGZO（In-Ga-Zn-O）。

圖：采用凸版印刷的涂布型氧化物TFT的電子紙?jiān)囍瞥霾捎每蛇M(jìn)行涂布的氧化物半導(dǎo)體的TFT，成功驅(qū)動(dòng)了電子墨水生產(chǎn)的電子紙（a）。特點(diǎn)是TFT的制造工序中最高溫度僅為270℃（b）。（圖：（a）由凸版印刷提供）

　　凸版印刷則致力于采用可進(jìn)行涂布的氧化物半導(dǎo)體的TFT的開(kāi)發(fā)。通過(guò)采用涂布工藝，有望削減制造成本。該公司試制出了制造工序中最高溫度可降至270℃的氧化物TFT。與原來(lái)利用涂布工藝制造氧化物TFT相比，“最高溫度要低100℃以上”（該公司）。凸版印刷的TFT是在玻璃底板上制成的，采用旋壓覆蓋（Spin Coat）法對(duì)氧化物半導(dǎo)體進(jìn)行涂布成膜。以柵極絕緣膜為代表，源極等各電極均采用原來(lái)的制造工序。

　　雖然還比不上濺鍍產(chǎn)品，但涂布成膜的試制品的遷移率為0.5cm2/Vs以上，導(dǎo)通/截止比為105以上，實(shí)現(xiàn)了與普通非晶硅TFT相當(dāng)?shù)奶匦?。其特點(diǎn)是有望用于驅(qū)動(dòng)電子紙及液晶面板。事實(shí)上，凸版印刷已利用該試制品，成功驅(qū)動(dòng)了美國(guó)電子墨水（E Ink）制造的2英寸電子紙。