臺灣友達光電(AUO)于美國時間2010年5月28日在顯示器國際會議“SID 2010”上,進行了驅(qū)動元件采用氧化物半導(dǎo)體TFT的32英寸液晶面板技術(shù)發(fā)布,并在開發(fā)者見面會(Author Interview)上進行了公開演示。盡管當(dāng)天是本屆會議的最后一天,但仍有很多技術(shù)人員為了一睹達到“電視尺寸”——32英寸面板的風(fēng)采而來到會場。前一天索尼現(xiàn)場演示可繞式有機EL時,也吸引了很多技術(shù)人員,但友達光電現(xiàn)場演示的火爆場面超過了索尼,可以說是本屆SID上“人氣最高”的展品。
從演示時展示的32英寸面板來看,顯示藍天影像等時可看到若干的斑點(如果是照片就很難看出),但并看不出線缺陷等一眼就可以看到的缺點。在開發(fā)者見面會現(xiàn)場,日本某廠商的技術(shù)人員表示,“雖說拿出來展示的都是最好的樣品,但能達到這種水平的確非常了不起”。
采用第6代生產(chǎn)線試制
該產(chǎn)品是友達光電在該公司第6代(玻璃底板尺寸為1850mm×1500mm)液晶面板生產(chǎn)線上試制的。利用的氧化物半導(dǎo)體TFT與索尼當(dāng)天發(fā)布的11.7英寸有機EL面板相同,溝道材料均采用非晶IGZO(In-Ga-Zn-O)。TFT構(gòu)造系源電極和漏電極設(shè)在溝道側(cè)面的同一平面(Coplanar)型。TFT陣列形成后,通過在250℃下進行1小時的熱處理,提高了工藝的再現(xiàn)性。
非晶IGZO TFT的特性方面,47.4μm及5.5μm元件的載流子遷移率為5.16cm2/Vs,閾值電壓為0.5V。亞閾值擺幅(S值)為0.38V/decade,導(dǎo)通截止比為108。
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