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　　近年來，隨著高分辨率智能手機(jī)的盛行以及智能手機(jī)屏幕平均尺寸的持續(xù)增大，基于LTPS技術(shù)面板的需求將持續(xù)走高。為了應(yīng)對(duì)中國市場對(duì)中小尺寸LTPS面板的龐大需求，2015年3月，應(yīng)用材料公司在上海舉行了“推動(dòng)中國通信行業(yè)發(fā)展和低溫多晶硅顯示面板量產(chǎn)”的媒體說明會(huì)。

　　過去的二十年，顯示技術(shù)飛速發(fā)展，低溫多晶硅開始應(yīng)用于高清顯示面板和AMOLED 面板的生產(chǎn)制造。應(yīng)用材料公司顯示產(chǎn)品事業(yè)部首席營銷官M(fèi)ax McDaniel表示，目前中國面板廠商正積極投資LTPS （低溫多晶硅薄膜晶體管液晶顯示面板）技術(shù)以供應(yīng)中小尺寸高清面板。雖然中國面板廠商期望擴(kuò)大LTPS面板產(chǎn)能，但對(duì)于一些剛加入的廠商來說，建廠之后產(chǎn)能提升的同時(shí)，LTPS面板廠的運(yùn)作效率和良率是急需解決的大問題。

　　 應(yīng)用材料公司顯示產(chǎn)品事業(yè)部首席營銷官M(fèi)ax McDaniel

　　Max認(rèn)為，“對(duì)顯示行業(yè)來講，分辨率、尺寸和形狀始終是驅(qū)動(dòng)它發(fā)展的三個(gè)因素。其中，分辨率與尺寸這兩個(gè)在所有的顯示終端，從電視到移動(dòng)終端都一直在往高標(biāo)準(zhǔn)發(fā)展。柔性顯示這種形式為顯示應(yīng)用賦予了新的發(fā)展意義，開創(chuàng)了自由改變顯示屏幕形狀的可能。”

　　本次說明會(huì)上，應(yīng)用材料公司重點(diǎn)介紹了針對(duì)LTPS面板生產(chǎn)所需的最新型號(hào)CVD設(shè)備和PVD設(shè)備。據(jù)介紹，在傳統(tǒng)的電視、顯示器和筆記本電腦領(lǐng)域，應(yīng)用材料公司為業(yè)界提供了制造薄膜晶體管液晶顯示所需的核心關(guān)鍵設(shè)備，從陣列CVD、陣列PVD到陣列測試和彩色濾光片PVD設(shè)備；在新型的OLED顯示、平板電腦和智能機(jī)顯示領(lǐng)域，應(yīng)用材料公司提供了低溫多晶硅、金屬氧化物、觸摸屏和薄膜封裝等成膜設(shè)備。

　　應(yīng)用材料公司顯示器事業(yè)部中國區(qū)資深銷售經(jīng)理方甦棣女士介紹：“應(yīng)用材料公司的CVD化學(xué)氣相沉積設(shè)備，采用其獨(dú)創(chuàng)的空心陰極技術(shù)，能在相對(duì)較低的射頻下形成較強(qiáng)的均勻化等離子體分布，以實(shí)現(xiàn)更高的成膜速率和更致密膜層，同時(shí)有效地避免了高射頻所帶來的潛在的異常放電和對(duì)工藝腔體部件的損傷。對(duì)于LTPS面板生產(chǎn)而言，更致密的膜層意味著可在更薄的膜層情況下有效減少漏電流的產(chǎn)生。還有異物顆粒是一個(gè)不可避免的東西，關(guān)鍵就是如何去避免和降低異物顆粒的程度，這很大程度取決于設(shè)備制造商多年積累下來的生產(chǎn)和設(shè)計(jì)制造經(jīng)驗(yàn)。目前應(yīng)用材料公司通過長期的設(shè)計(jì)、安裝、調(diào)試，已經(jīng)向全球所有主要面板商提供了數(shù)百臺(tái)五代線以上的設(shè)備。針對(duì)目前市場上投資比較火熱的六代LTPS面板線，應(yīng)用材料公司推出的25KPXi CVD設(shè)備，采用多個(gè)降低顆粒的細(xì)節(jié)設(shè)計(jì)，以滿足用戶對(duì)于LTPS的更少更小缺陷性顆粒產(chǎn)生的需求。”

　　據(jù)了解，應(yīng)用材料公司已在臺(tái)灣臺(tái)南科學(xué)工業(yè)園區(qū)設(shè)立臺(tái)南顯示實(shí)驗(yàn)室。臺(tái)南顯示實(shí)驗(yàn)室目前已有可用于金屬氧化物工藝的8.5代55KSCVD設(shè)備，用于彩膜ITO和各種觸控屏鍍膜的在線PVD設(shè)備，以及6代尺寸的用于陣列生產(chǎn)的PVD機(jī)臺(tái)。應(yīng)用材料公司還計(jì)劃2015年的第二季度在臺(tái)南的研發(fā)中心導(dǎo)入新型CVD機(jī)臺(tái)，實(shí)現(xiàn)LTPS工藝的深度開發(fā)整合，更好地支持客戶做好量產(chǎn)工藝的開發(fā)和準(zhǔn)備，從而縮短客戶量產(chǎn)工廠的爬坡時(shí)間。

　　  應(yīng)用材料公司資深工程師林宛瑜博士

　　另外，應(yīng)用材料公司臺(tái)南顯示實(shí)驗(yàn)室的資深工程師林宛瑜博士也針對(duì)PVD設(shè)備做了詳細(xì)介紹。她表示，“應(yīng)用材料公司PVD設(shè)備利用革命性的旋轉(zhuǎn)靶技術(shù)，實(shí)現(xiàn)腔體內(nèi)氣壓的穩(wěn)定，提高成膜的均勻度。靶材使用率的提高，提升了設(shè)備稼動(dòng)率，降低了客戶運(yùn)行成本。”

　　PVD設(shè)備可以實(shí)現(xiàn)均勻的，優(yōu)良刻蝕殘留性能的ITO成膜：第一、旋轉(zhuǎn)陰極陣列保證ITO成膜的均勻性；第二、穩(wěn)定的反應(yīng)制程可實(shí)現(xiàn)理想的電阻和透光性；可控的制程優(yōu)化實(shí)現(xiàn)無刻蝕殘留的ITO沉積；為形成的深孔進(jìn)行出色的階梯覆蓋。同時(shí)，應(yīng)用材料公司的旋轉(zhuǎn)陰極可以控制陰極磁鐵的旋轉(zhuǎn)方向從而控制成膜的速度，更好地進(jìn)行缺陷和靶材侵蝕的控制，達(dá)到一個(gè)非常好的均勻度；旋轉(zhuǎn)靶材的自清潔特性可以極大改善靶材表面光整度，大幅度提升靶材利用率和靶材壽命，減少靶材維護(hù)和更新的頻率，從而提高設(shè)備的稼動(dòng)率，降低客戶的綜合使用成本。

　　Max表示，和非晶硅TFT相比，LTPS最大的貢獻(xiàn)就是可以實(shí)現(xiàn)更高的解析度與快速響應(yīng)。由于它的工藝相對(duì)復(fù)雜，制造成本較高，在過去的很長一段時(shí)間都只限于在較小尺寸的基板上進(jìn)行生產(chǎn)。近幾年，隨著市場對(duì)高解析度移動(dòng)終端需求的強(qiáng)勁增長，以及各個(gè)面板廠商和設(shè)備廠商在LTPS領(lǐng)域的技術(shù)提升，目前我們看到最新的LTPS TFT 的投資大多已是6代線工廠。 談到金屬氧化物技術(shù)，Max認(rèn)為，“由于其較為容易在大尺寸基板上實(shí)現(xiàn)，同時(shí)它的低漏電率可起到很好的節(jié)能效果，又與現(xiàn)有設(shè)備和制程有一定的兼容性，目前其較大的應(yīng)用是在大尺寸的移動(dòng)終端設(shè)備如平板電腦或筆記本電腦顯示屏上。另外，因?yàn)榻饘傺趸颰FT也是OLED TV 背板的主導(dǎo)技術(shù)之一，我們相信其在平板顯示領(lǐng)域會(huì)有相當(dāng)大的市場和應(yīng)用前景。”

　　隨著近兩年的投資擴(kuò)建，特別是大世代液晶面板線在中國的陸續(xù)建立，Max認(rèn)為在未來兩到三年的時(shí)間內(nèi)可能會(huì)出現(xiàn)小幅度的結(jié)構(gòu)性產(chǎn)能過剩，但高端移動(dòng)產(chǎn)品（超高清、OLED等移動(dòng)顯示產(chǎn)品）仍然擁有一定的價(jià)格和盈利優(yōu)勢。隨著終端市場競爭日益激烈，對(duì)于中國的LTPS生產(chǎn)企業(yè)而言，如何快速地實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)，提升良率將成為制勝的關(guān)鍵。

　　應(yīng)用材料公司針對(duì)半導(dǎo)體、平板顯示和太陽能光伏行業(yè)所需的精密材料工程解決方案方面有著悠久歷史，憑借在半導(dǎo)體制造設(shè)備與服務(wù)領(lǐng)域的經(jīng)驗(yàn)，能夠幫助客戶的低溫多晶硅面板廠縮短爬坡時(shí)間，盡快實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)，優(yōu)化并提升良率等方面取得更大的成績。從2004年在北京設(shè)立中國第一個(gè)銷售服務(wù)中心，迄今應(yīng)用材料公司顯示事業(yè)部已經(jīng)在中國大陸建立了完善的基礎(chǔ)設(shè)施，包括六個(gè)以上現(xiàn)場服務(wù)中心和三個(gè)備品備件保稅倉庫，擁有豐富實(shí)戰(zhàn)經(jīng)驗(yàn)、職業(yè)精神的銷售和售后服務(wù)團(tuán)隊(duì)；同時(shí)，應(yīng)用材料公司還在臺(tái)灣建立了顯示技術(shù)研發(fā)實(shí)驗(yàn)室，及時(shí)為中國大陸客戶提供合作研究、技術(shù)開發(fā)的便利條件。

　　作為平板顯示供應(yīng)鏈的最前端，Max表示，應(yīng)用材料公司未來愿聚焦于客戶的高附加價(jià)值問題的解決方案，為中國平板顯示客戶提供更先進(jìn)的設(shè)備和工藝，及時(shí)開發(fā)新的技術(shù)和設(shè)備，提高器件品質(zhì)和良率，為中國平板顯示行業(yè)作出自己的貢獻(xiàn)。