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海德漢攜子公司ETEL即將亮相SEMICON展會(huì)

編輯:chinafpd 2020-05-14 11:07:15 瀏覽:1087  來源:中華顯示網(wǎng)

  時(shí)間:627-29日,展位號(hào):E22343號(hào)

  約翰內(nèi)斯·海德漢博士(中國(guó))有限公司是德國(guó)海德漢公司在中國(guó)的獨(dú)資公司,總部設(shè)在北京,在上海、深圳、哈爾濱、沈陽、西安、南京、武漢、寧波和成都設(shè)有分公司和辦事處。海德漢是一家研發(fā)和制造光柵尺,角度、旋轉(zhuǎn)編碼器,長(zhǎng)度計(jì),數(shù)控系統(tǒng),測(cè)頭和數(shù)顯表等的專業(yè)公司。產(chǎn)品遍布全球,具有廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域,包括機(jī)床行業(yè)、自動(dòng)化設(shè)備制造行業(yè)、半導(dǎo)體和電子器件設(shè)備制造業(yè)、航空航天、紡織和印刷機(jī)械以及電梯等行業(yè)。

  總部位于瑞士的ETEL公司從事研發(fā)、產(chǎn)業(yè)化、生產(chǎn)、供應(yīng)鏈、質(zhì)量管理、銷售、市場(chǎng)推廣和技術(shù)支持工作。所有產(chǎn)品設(shè)計(jì)和生產(chǎn)都在ETEL瑞士總部進(jìn)行。作為當(dāng)今市場(chǎng)上直接驅(qū)動(dòng)電機(jī)型號(hào)最齊全的供應(yīng)商,ETEL公司提供從納米級(jí)高精度的高端運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)到大扭矩/大推力工業(yè)應(yīng)用的全面解決方案。ETEL不斷展現(xiàn)以直接驅(qū)動(dòng)技術(shù)為基礎(chǔ)的部件及系統(tǒng)的強(qiáng)大創(chuàng)新能力和領(lǐng)先優(yōu)勢(shì)。我們的目標(biāo)是預(yù)知市場(chǎng)需求并成功開發(fā)新型和創(chuàng)新的系統(tǒng)架構(gòu),確保我們保持競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)。ETEL始終著眼于前沿和突破性技術(shù)研發(fā);只有長(zhǎng)期堅(jiān)持才能成功。這一理念不僅保持ETEL和其客戶現(xiàn)在的成功,也保證未來的成功。

  下面是本次展會(huì)海德漢和ETEL的主要展品介紹。

  1VULCANO XYZ3T H QuiET堆疊平臺(tái)

  是由Vulcana XY系統(tǒng)和一個(gè)XYZ3T H多功能模塊組成的高精度多軸系統(tǒng),該平臺(tái)也集成了QuiET主動(dòng)避震系統(tǒng)。

  產(chǎn)品亮點(diǎn):

  Ø  模塊化設(shè)計(jì),結(jié)構(gòu)緊湊

  Ø  納米級(jí)的位置穩(wěn)定性

  Ø  高動(dòng)態(tài)性能:2.5 g,1.5 m/s

  Ø  運(yùn)動(dòng)和穩(wěn)定時(shí)間短

  Ø  兼容ISO 1級(jí)超凈車間

  Ø  ±0.1°以上的搖擺和傾斜修正范圍

  Ø  帶雙Z軸,內(nèi)置Z軸重力補(bǔ)償

  Ø  優(yōu)異的Z軸直線度

  Ø  更高Z軸重復(fù)精度和抖動(dòng)性能

  Ø  可修正工作臺(tái)平面度

  Ø  卡盤面帶真空接口


  產(chǎn)品性能:軸搖擺和傾斜粗大Z軸旋轉(zhuǎn)軸

  2、Charon2 Z3TM QuiET 堆疊平臺(tái)

  是由CHARON2 XY系統(tǒng)和一個(gè)Z3TM組合模塊以及一個(gè)垂直直線軸組成的高精度多軸系統(tǒng),該平臺(tái)也能集成了QuiET主動(dòng)避震系統(tǒng)。

  產(chǎn)品特點(diǎn)

  Ø   總行程:達(dá)650 mm x 410 mm

  Ø   9種CHARON2標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品 x 2種可選的電子系統(tǒng)=18種現(xiàn)成方案可供選擇

  Ø  兼容ISO 2 或者 ISO1級(jí)超凈車間

  Ø  使用Z3TM組合模塊校正傾斜度

  Ø  卡盤面帶真空接口

  Ø  運(yùn)動(dòng)和穩(wěn)定時(shí)間短

  Ø  有效負(fù)載和高達(dá)30千克

  Ø  靈活的應(yīng)用和使用用例

  Ø  同級(jí)中更優(yōu)的擁有成本

  Ø  模塊型、可擴(kuò)展的性能和現(xiàn)場(chǎng)可升級(jí)

  產(chǎn)品性能:



  3、RTMBi 高性能分選臺(tái)

  與TUCANA and AQUARIUS 力控制短程執(zhí)行器及AccurET控制單元一起使用的RTMBi,是半導(dǎo)體后段高速轉(zhuǎn)臺(tái)測(cè)試方案的最佳選擇。

  RTMBi 主要特點(diǎn):

  Ø  高動(dòng)態(tài)分度應(yīng)用的回轉(zhuǎn)工作臺(tái)

  Ø  5種不同高度

  Ø  大扭矩高度比

  Ø  高動(dòng)態(tài)性能能力

  Ø  大空心軸,最高靈活性

  Ø  TMB力矩電機(jī)提供大扭矩

  Ø  最高轉(zhuǎn)速 1200 rpm

  Ø  重復(fù)定位精度(雙向) ±3 角秒 at ±3sigma

  Ø  定位精度:

  Ø  ±20角秒(mapping補(bǔ)償前)

  Ø  ±6 角秒(mapping補(bǔ)償后)

  TUCANA and AQUARIUS 主要特點(diǎn):

  AQUARIUS

  Ø  行程:10 mm

  Ø  峰值推力:120 N

  Ø  連續(xù)推力:29.5 N

  Ø  速度達(dá):1 m/s

  Ø  加速度達(dá):30 g

  TUCANA

  Ø  行程:10 mm

  Ø  峰值推力:29 N

  Ø  連續(xù)推力:11.5 N

  Ø  速度達(dá):1 m/s

  Ø  加速度達(dá):30 g

  4、UltimET運(yùn)動(dòng)控制單元AccurET位置控制單元

  能驅(qū)動(dòng)市場(chǎng)上絕大多數(shù)伺服電機(jī)(無刷電機(jī),直流電機(jī)和步進(jìn)電機(jī)),并實(shí)現(xiàn)完美的控制性能。

  主要特點(diǎn):

  Ø  直驅(qū)控制應(yīng)用的最高成就

  n  高端多軸應(yīng)用中的同步和插補(bǔ)功能

  n  高級(jí)伺服算法

  Ø  通過ETEL實(shí)時(shí)總線(TransnET)進(jìn)行超高速通信

  Ø  緊湊的外形,簡(jiǎn)單的布線,便于設(shè)備安裝

  Ø  用于設(shè)置,識(shí)別,調(diào)校和監(jiān)控的ComET軟件工具包,簡(jiǎn)單易用,可幫助客戶迅速提高系統(tǒng)的應(yīng)用能力

  Ø  模塊化結(jié)構(gòu)和緊湊型解決方案

  Ø  可選配嵌入式擴(kuò)展卡

  Ø  標(biāo)配3D mapping位置修正功能

  Ø  非常適合電子及半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用

  5、直線電機(jī)

  ETEL是業(yè)內(nèi)提供標(biāo)準(zhǔn)化直線電機(jī)產(chǎn)品品種最全的公司。50多種型號(hào),幾乎能滿足任何應(yīng)用要求。

  有鐵芯電機(jī)主要特點(diǎn)

  LMA 系列

  Ø  最大持續(xù)推力

  Ø  最適用于高負(fù)荷周期應(yīng)用

  Ø  兼容600 VDC

  LMG 系列

  Ø  結(jié)構(gòu)緊湊

  Ø  經(jīng)濟(jì)適用

  Ø  高峰值推力

  Ø  兼容600 VDC

  LMS 系列

  Ø  結(jié)構(gòu)緊湊

  Ø  經(jīng)濟(jì)適用

  Ø  較高連續(xù)推力

  Ø  兼容600 VDC

  性能

  Ø  速度達(dá) 15 m/s

  Ø  連續(xù)推力可達(dá) 956 N

  Ø  峰值推力可達(dá) 3650 N

  Ø  較小的推力波動(dòng)

  Ø  該類直線電機(jī)全部使用相同的MWD磁道

  無鐵芯電機(jī)主要特點(diǎn)

  ILF +

  Ø  中等推力

  Ø  極小運(yùn)動(dòng)慣量

  Ø  兼容600 VDC

  ILM+

  Ø  大推力

  Ø  小運(yùn)動(dòng)慣量

  Ø   兼容600 VDC

  特點(diǎn):

  Ø  連續(xù)推力高達(dá) 478 N

  Ø  重量輕的運(yùn)動(dòng)件低至 100 g

  Ø  峰值推力可達(dá) 3200 N

  Ø  可選配:強(qiáng)制風(fēng)冷

  Ø  無吸力

  Ø  無推力波動(dòng)

  6、LIDA、LIFMS 15系列敞開光柵尺

  海德漢公司的敞開式直線光柵尺特別適用于高速和精密運(yùn)動(dòng)控制。盡管機(jī)械結(jié)構(gòu)是敞開式的,但這些光柵尺擁有較強(qiáng)抗污能力,能確保優(yōu)異的長(zhǎng)期穩(wěn)定性,而且安裝簡(jiǎn)單快捷。.

  LIDA 系列適用于高速和達(dá)測(cè)量范圍的敞開式增量光柵尺

  Ø  測(cè)量長(zhǎng)度可達(dá) 30 m。

  Ø  分辨率 10 nm。

  Ø  自帶限位功能。

  Ø  易于安裝,多種安裝方式可選。

  Ø  有碼盤和讀數(shù)頭組成。

  Ø  鋼帶, 玻璃 或者玻璃陶瓷尺體。

  LIF 系列敞開式增量光柵尺,精度高,重復(fù)性好,安裝簡(jiǎn)單。

  Ø  玻璃或玻璃陶瓷的尺體。

  Ø  小信號(hào)周期

  Ø  分辨率可達(dá) 2 nm

  Ø  自帶回零軌和限位開關(guān)檢測(cè)位置

  Ø  有碼盤和讀數(shù)頭組成。

  Ø  可在真空環(huán)境下使用 (具體型號(hào)參見產(chǎn)品手冊(cè))

  MS15自帶歸位和限位功能的敞開式直線光柵尺

  l  自帶三色指示燈,可顯示信號(hào)質(zhì)量

  l  高質(zhì)量的單場(chǎng)掃描限號(hào)

  l  可定制的參考標(biāo)記位置

  l  抗污染能力強(qiáng)

  l  較高的穿越速度

  l  容易安裝

  l  結(jié)構(gòu)緊湊

  l  分辨率: 10 μm – 0.05 μm

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