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　　根據(jù)日本艾迪科株式會(huì)社（以下簡稱為：“ADEKA”）官網(wǎng)近日披露消息稱，千葉新工廠內(nèi)已引進(jìn)EUV（極紫外光刻）光刻膠材料一一光氧化發(fā)生劑(PAGs)的生產(chǎn)設(shè)備，并為新廠房舉辦了完工儀式。為滿足尖端材料的旺盛需求，新產(chǎn)線計(jì)劃2023年8月開始稼動(dòng)。

　　5G通信的擴(kuò)大，以及AI、元宇宙等ICT社會(huì)（Information Communications Technology，信息通信技術(shù)，簡稱為“ICT”）中，半導(dǎo)體發(fā)揮著重要作用。為提高半導(dǎo)體處理信息的速度、同時(shí)降低其功耗，半導(dǎo)體廠家正通過提高其微縮化來推動(dòng)高集成化的進(jìn)程。其中，相當(dāng)于人腦的邏輯（Logic）半導(dǎo)體的微縮化進(jìn)步尤其明顯，對(duì)新材料的需求也水漲船高。

　　ADEKA通過為半導(dǎo)體行業(yè)提供尖端材料，壯大了其信息?電子化學(xué)品事業(yè)部的發(fā)展。在邏輯半導(dǎo)體應(yīng)用方向，ADEKA基于出色的光控制技術(shù)和金屬管理技術(shù)，賦予EUV光刻膠材料一光氧化發(fā)生劑“ADEKA ARKLS”系列產(chǎn)品全球第一的性能，并獲得了極佳的銷售業(yè)績。隨著半導(dǎo)體微縮化發(fā)展，預(yù)計(jì)對(duì)EUV光刻膠的需求也將越來越多，因此ADEKA在2021年8月決定進(jìn)行設(shè)備投資，并投建新廠房。

　　此次新引進(jìn)的設(shè)備量產(chǎn)后，ADEKA的產(chǎn)能將較以往提升至兩倍多。此外，ADEKA不僅引進(jìn)了新的生產(chǎn)工藝（Process），還將引進(jìn)最先進(jìn)的設(shè)備以提高品質(zhì)管理能力，使金屬雜質(zhì)管控達(dá)到1ppb（part per billion）以下。另外，ADEKA還引進(jìn)了用于生產(chǎn)新一代產(chǎn)品的設(shè)備。

　　ADEKA集團(tuán)不僅繼續(xù)會(huì)擴(kuò)大銷售其主力產(chǎn)品一一存儲(chǔ)半導(dǎo)體方向高介電材料，同時(shí)也會(huì)繼續(xù)推進(jìn)其材料在邏輯半導(dǎo)體方向的應(yīng)用，以實(shí)現(xiàn)成為全球頂尖半導(dǎo)體材料廠家的目標(biāo)。

　?。▓D片來源：日本艾迪科株式會(huì)社官網(wǎng)）

　　關(guān)于ADEKA的光氧化發(fā)生劑“ADEKA ARKLS”系列

　　該系列產(chǎn)品是光刻膠的引發(fā)劑(Initiator)，為了在半導(dǎo)體光刻制程中形成細(xì)微線路，需要利用該系列產(chǎn)品與特定的光、電子線發(fā)生反應(yīng)形成氧。該系列材料被應(yīng)用于當(dāng)下最先進(jìn)的EUV曝光制程中，未來ADEKA將進(jìn)一步擴(kuò)大銷售。

　　關(guān)于ADEKA的信息?電子化學(xué)品事業(yè)部

　　ADEKA通過向半導(dǎo)體行業(yè)和顯示行業(yè)提供多類尖端材料，促進(jìn)ICT社會(huì)發(fā)展。其中，用于存儲(chǔ)半導(dǎo)體的高介電材料“ADEKA ORCERA”系列擁有全球第一的市占率。在中期經(jīng)營計(jì)劃“ADX2023（2021年一2023年）”中，ADEKA將“新一代ICT相關(guān)業(yè)務(wù)”定位為核心業(yè)務(wù)之一，并力求大幅度擴(kuò)大業(yè)務(wù)規(guī)模。

　　ADEKA在“ADX2023”中提到，計(jì)劃三年內(nèi)對(duì)信息?電子化學(xué)品業(yè)務(wù)進(jìn)行95億日元（約人民幣4.86億元）設(shè)備投資，由于ADEKA的投資集中在了尖端半導(dǎo)體材料領(lǐng)域，因此在2022年末，實(shí)際投資額已經(jīng)達(dá)到最初計(jì)劃的120%（含獲審批部分）。