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　　EUV光刻是當(dāng)前半導(dǎo)體工藝中最先進(jìn)的技術(shù)，7nm以下工藝都離不開，日本近年來也希望重新掌握先進(jìn)工藝，不僅成立了Rapidus公司研發(fā)2nm工藝，日前更是突然收購(gòu)了JSR公司，JSR是全球少數(shù)能產(chǎn)EUV光刻膠的公司。

　　圖源：JSR官網(wǎng)

　　JSR（日本合成橡膠公司）原本是私營(yíng)公司，在日本股市上市，日本政府支持的投資公司“產(chǎn)業(yè)革新投資機(jī)構(gòu)”JIC宣布斥資萬億日元，約合500億人民幣收購(gòu)JSR，完成之后JSR計(jì)劃在2024年從東京證交所摘牌退市。

　　雖然退市的目的說是進(jìn)一步投資及重組，但JSR此后顯然會(huì)從私營(yíng)公司變成日本國(guó)有背景，日本官方一步步掌控半導(dǎo)體核心技術(shù)。

　　JSR公司成立于1957年，1979年進(jìn)入了半導(dǎo)體光刻膠領(lǐng)域，是日本乃至全球幾大主要的光刻膠供應(yīng)商之一，與住友化學(xué)、信越化學(xué)、東京應(yīng)化并列，ArF光刻膠領(lǐng)域份額第一，EUV光刻膠也是主力供應(yīng)商之一。

　　此外，Rapidus公司日前也跟ASML公司達(dá)成了合作，將引入EUV光刻機(jī)，最快2025年試產(chǎn)2nm工藝，該公司雖然也是豐田、索尼等8家企業(yè)聯(lián)合成立，但是研發(fā)到生產(chǎn)都需要日本巨額補(bǔ)貼，不是國(guó)有勝似國(guó)有。

　　在解決了EUV光刻機(jī)及EUV光刻膠之后，日本掌握2nm等先進(jìn)工藝的雄心又近了一步。