新諾科技(中山)有限公司成立于2004年,是一家私營企業(yè),公司主要是以研發(fā)和生產(chǎn)激光動態(tài)無掩模光刻設(shè)備、激光無掩模像素?zé)徂D(zhuǎn)印設(shè)備、激光無掩模雙面曝光設(shè)備、超大尺寸FPD無掩模曝光設(shè)備及超快皮秒級激光封裝焊接設(shè)備。
新諾公司及其海外關(guān)聯(lián)公司Aiscent Technologies (Canada), Inc.(www.aiscenttech.com) 是由一組長期在北美、日本和中國等地從事激光技術(shù)和應(yīng)用研發(fā)的資深科學(xué)家和擅長高科技企業(yè)管理的團隊來經(jīng)營,公司曾經(jīng)重組了一家美國/日本從事激光直接光刻設(shè)備研發(fā)和生產(chǎn)的在中國的分公司,配合公司已有的大功率藍(lán)紫激光技術(shù)、大功率和皮秒光纖激光器技術(shù),不斷開拓其激光直寫技術(shù)的應(yīng)用范圍。
新諾科技以LDI激光直接成像技術(shù)和光纖激光技術(shù),實現(xiàn)了激光無掩膜光刻、熱轉(zhuǎn)印及超快激光封裝技術(shù)的在半導(dǎo)體行業(yè)的廣泛應(yīng)用,突破了原有的電子、生物及微精細(xì)加工領(lǐng)域的工程瓶頸。整個光刻系統(tǒng)是由我公司研發(fā)的藍(lán)紫半導(dǎo)體激光器耦合成的大功率光刻激光光源、DMD成像系統(tǒng)、自己研發(fā)生產(chǎn)的微透鏡系統(tǒng)、高速(25Gb/s)的數(shù)據(jù)傳輸硬件系統(tǒng) 、具有數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換、變形補償、掃描控制的軟件系統(tǒng)以及高精度的移動平臺組成。其工作原理是:由計算機產(chǎn)生的要光刻的圖形,在DMD芯片上顯示出來,形成了數(shù)字掩膜板圖形,再經(jīng)微透鏡陣列系統(tǒng)壓縮后,產(chǎn)生了小于1um的光斑陣列,該光斑陣列圖形通過光學(xué)系統(tǒng)成像在要光刻的基板上,通過高精度的移動平臺對基板形成掃描曝光。這種無掩模光刻方式節(jié)省了半導(dǎo)體工藝中昂貴的掩模板,提高了新產(chǎn)品的開發(fā)速度,節(jié)約了成本。由于應(yīng)用了掃描技術(shù),該設(shè)備也可用于器件的批量生產(chǎn)線中。該設(shè)備可廣泛用于LCD、OLED等FPD平板顯示領(lǐng)域、高精度多層PCB板的加工生產(chǎn),它無需菲林,能自動補償板材變形、高精度對位等。其多光學(xué)引擎頭同時曝光掃描技術(shù)可解決10代線以上的超大屏幕FPD的光刻問題。其雙面曝光技術(shù)集中解決了高精度PCB板生產(chǎn)中的對位、變形、高速等技術(shù)難點,開創(chuàng)了LDI在PCB領(lǐng)域里應(yīng)用的新時代。該光刻技術(shù)也大量用于CTP系統(tǒng)、MEMS及半導(dǎo)體器件的研發(fā)生產(chǎn)中。公司利用自主研發(fā)飽和吸收光纖技術(shù)開發(fā)出了超快皮秒級光纖激光器,該激光器可廣泛用于LCD、OLED等FPD領(lǐng)域的密封焊接封裝中,這種技術(shù)克服了現(xiàn)有激光封裝焊接部分熱影響區(qū)域大、局部應(yīng)力變形大、難以控制及成品率低等缺點。是半導(dǎo)體封裝行業(yè)里的新產(chǎn)品和新技術(shù)。無掩膜光刻設(shè)備和皮秒光纖激光技術(shù)是下一代半導(dǎo)體光刻設(shè)備、封裝設(shè)備的重點發(fā)展方向,該技術(shù)的成功應(yīng)用是國家半導(dǎo)體裝備行業(yè)的重大突破。
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