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　　1.前言

　　當OLED漸漸在電子產(chǎn)品上大量生產(chǎn)，OLED的制造已吸引許多科學(xué)家去制定最適宜的處理條件，ITO已廣泛在OLED上當作正極使用，而且不同表面誘發(fā)變異以被報導(dǎo)出來為了要改進設(shè)備性能，這些表面處理包括氧離子、紫外線-臭氧、氧炙熱發(fā)電、化學(xué)藥品、酸和基層吸附如同那些處理結(jié)合。

　　在本文中我們以田口法報告ITO表面誘發(fā)變異，我們使用4種不同方法在ITO樣本的表面處理：機械、化學(xué)、紫外線-臭氧和氧離子處理，結(jié)果對OLED制造有較佳發(fā)光效率。

　　2.實驗

　　田口法廣泛地被使用于工業(yè)研究和性質(zhì)控制，它是方便接近達最佳處理條件從限制實驗數(shù)據(jù)和獲得某些交互作用信息在這些因子之間，我們使用L9(34)直交表去評估每個機械過程和化學(xué)處理，從那些結(jié)果隨同S/N比，我們可以對表面處理建立最佳化條件，最后我們使用L18(2 1 × 37)直交表調(diào)合結(jié)合因子和獲得OLED設(shè)備最佳化條件。

　　在化學(xué)處理，我們選擇HCl/HNO3、酸/H2O、溫度、時間當作因子。在機械過程，我們選擇壓力、Al2O3/酒精、磨光速度比當作因子。

　　2-1.化學(xué)處理

　　化學(xué)處理在這報告主要在能燙平ITO-涂料玻璃表面的過程，下層在HCL和HNO3的超音波浴中最先被洗，處理溫度分別為100、200、300 ℃，反應(yīng)時間分別為10、20、30秒，HCl和HNO3的比率分別為3:1、4:1、5:1，酸和H2O的比率分別為1:3、1:4、1:5，ITO-玻璃下層由蒸餾水清洗而最后用氮氣來干燥。

　　2-2.機械過程