市民生活中離不開的手機上,都有一塊小小的集成電路芯片。芯片上面各種各樣的紋路,就是由刻蝕機刻出來的。記者日前從北京電控了解到,由其下屬企業(yè)北方微電子公司自主研發(fā)的12英寸28納米等離子硅刻蝕機,已經(jīng)全面通過工藝驗證。我國集成電路高端裝備進(jìn)一步加快了追趕國際水平的腳步,技術(shù)水平已經(jīng)從2003年的“20年差距”縮短到“只差3年”。
28納米,相當(dāng)于人體一根頭發(fā)的萬分之一粗細(xì)。生產(chǎn)一塊手機使用的電子芯片,一般需要18種機器設(shè)備、累計400多道工序,而刻蝕機就是其中的重要設(shè)備之一。
去年年末,北方微電子公司自主研發(fā)的這款12英寸28納米等離子硅刻蝕機,全面通過中芯國際生產(chǎn)線全流程工藝驗證,并獲得客戶訂單,標(biāo)志著中國集成電路高端裝備國產(chǎn)化取得新的突破。
在北方微電子公司突破28納米刻蝕技術(shù)前,國際上也僅美國和日本各有一家企業(yè)能夠提供滿足28納米生產(chǎn)線的成熟設(shè)備。長期以來,高端刻蝕設(shè)備一直是制約我國集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的瓶頸,因此,北方微電子將28納米硅刻蝕設(shè)備推向市場,標(biāo)志著我國在高端集成電路裝備領(lǐng)域,第一次實現(xiàn)與主流生產(chǎn)線的需求同步。
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