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　　適用于無(wú)線射頻/微機(jī)電系統(tǒng)- RF/MEMS - 和生物技術(shù)應(yīng)用 的先進(jìn)光敏玻璃

　　國(guó)際技術(shù)集團(tuán)和特種玻璃專家肖特集團(tuán)近日推出經(jīng)過(guò)重大技術(shù)改進(jìn)的光敏玻璃產(chǎn)品 FO TURANTM II， 進(jìn)一步擴(kuò)大 其薄玻璃和晶圓產(chǎn)品組合。該材料具有先進(jìn)的光敏性、 均質(zhì)性。這些獨(dú)特的特性使無(wú)線射頻( RF)元件和微機(jī)電系統(tǒng)( MEMS) 制造商可以為各種半導(dǎo)體和生物技術(shù)應(yīng)用生產(chǎn)出結(jié)構(gòu)更為精細(xì)的基板。 美國(guó)西部光電展( SPIE Photonics West) 將于 2016 年 2 月 16-18 日在美國(guó)舊金山舉行，肖特將在展會(huì)上 首次展 出其創(chuàng)新晶圓產(chǎn)品 FO TURANTM II。

　　肖特集團(tuán)是光敏性玻璃領(lǐng)域的開拓者。過(guò)去 30 年間，作為一種性能卓越的特種玻璃材料，該公司的 FOTURANTM 玻璃產(chǎn)品一直廣為人知，并應(yīng)用于無(wú)需采 用常規(guī)光阻劑基光刻的極度精細(xì)的結(jié)構(gòu)中。FOTURANTM 在微系統(tǒng)技術(shù)的不同 應(yīng)用領(lǐng)域得到了測(cè)試和檢驗(yàn)，這些領(lǐng)域包括微系統(tǒng)技術(shù)，半導(dǎo)體，遠(yuǎn)程通信，射頻器件，微流體，微光學(xué)和MEMS應(yīng)用。

　　FO TURANTM II 可提供更好的性能和更大的效益。

　　現(xiàn)在，肖特采用一種全新的生產(chǎn)工藝，生產(chǎn)出一種全新一代的改性玻璃晶圓產(chǎn) 品 FOTURANTM II。該生產(chǎn)工藝可確保很高的重現(xiàn)性，以及整個(gè)晶圓產(chǎn)品均一 的光敏性和光學(xué)特性。

　　肖特薄玻璃和晶圓產(chǎn)品戰(zhàn)略業(yè)務(wù)部負(fù)責(zé)人 Fredrik Prince 表示：“這些獨(dú)特的 特性使 FOTURANTM II 晶圓產(chǎn)品成為無(wú)線射頻/微機(jī)電系統(tǒng)和生物技術(shù)領(lǐng)域的一個(gè)關(guān)鍵元件。借助該產(chǎn)品，我們的客戶可以生產(chǎn)出具有微米級(jí)別、前所未有的 寬高比和更為精細(xì)微結(jié)構(gòu)的基板。”

　　FOTURANTM II 晶圓的標(biāo)準(zhǔn)供應(yīng)尺寸包括直徑 6 英寸或 8 英寸的晶圓以及 200X200 毫米方形基板，產(chǎn)品厚度則在 0.5 毫米-1 毫米之間。這些晶圓和方 形基板可以按照以下三個(gè)或四個(gè)步驟來(lái)進(jìn)行構(gòu)造和加工，即：紫外線曝光(采 用無(wú)需使用光阻劑的標(biāo)準(zhǔn)光刻設(shè)備)，熱處理，蝕刻和陶瓷化(可選，針對(duì)耐 高溫領(lǐng)域的應(yīng)用)。用于構(gòu)造 FOTURANTM II 晶圓的主要行業(yè)包括半導(dǎo)體、電 信、微機(jī)電系統(tǒng)傳感器、無(wú)線射頻元件、微流體和微光學(xué)等行業(yè)。

　　在無(wú)線射頻(RF)應(yīng)用領(lǐng)域，結(jié)構(gòu)化的 FOTURANTM II 基板可以使功率電感器 在高頻設(shè)備中占據(jù)很小的占地面積、擁有高的品質(zhì)因子和高自諧振頻率 (SRF)。另一方面，用于生物技術(shù)中的微流體即將成為諸多領(lǐng)域的主流支撐 技術(shù)，這些領(lǐng)域包括醫(yī)療診斷、生命科學(xué)研究、藥物傳遞和合成等。

　　FOTURANTM II 晶圓可用于生產(chǎn)可重復(fù)使用、易于清洗和光學(xué)透明的滴定板。 此外，與硅傳感器所不同的是，F(xiàn)OTURANTM II 的可構(gòu)造性使小型熱質(zhì)的流量 傳感器具有超快的響應(yīng)速度和優(yōu)良的化學(xué)穩(wěn)定性。最后，F(xiàn)OTURANTM II 晶圓 還可用于半導(dǎo)體基板和采用標(biāo)準(zhǔn)半導(dǎo)體設(shè)備的封裝工藝中。

　　總之，肖特集團(tuán)是世界領(lǐng)先的由特種材料制成的薄玻璃和超薄玻璃晶圓及基板 供應(yīng)商之一，而 FOTURANTM II 晶圓則是肖特集團(tuán)獨(dú)特產(chǎn)品組合中的一個(gè)有力補(bǔ)充。