愛思強宣布其接到了某亞洲主要OLED面板制造商的設(shè)備訂單,將提供一套OLED蒸鍍系統(tǒng)并于2017年下半年安裝完成。
雖然愛思強并沒有在公告中說明其蒸鍍系統(tǒng)的類型,但根據(jù)以往的報道,愛思強只有OVPD蒸鍍系統(tǒng)的制造經(jīng)驗,所以本次出貨的蒸鍍系統(tǒng)類型將為OVPD。
愛思強將與面板制造商合作,努力將OVPD蒸鍍設(shè)備調(diào)試至生產(chǎn)水平。據(jù)愛思強透露,OVPD蒸鍍技術(shù)對比傳統(tǒng)蒸鍍技術(shù),具有多種獨有優(yōu)勢,包括高蒸鍍速率、高材料利用率及降低材料在蒸發(fā)中的裂解等。
在去年3月,愛思強稱其使用OVPD蒸鍍設(shè)備實現(xiàn)了OLAD(OrganicLarge Area Demonstrator),在持續(xù)數(shù)月的測試后得到了較好的結(jié)果,目前設(shè)備已經(jīng)進入出貨客戶的測試階段。
什么是OVPD 蒸鍍技術(shù)
OVPD是AIXTRON愛思強提供的革命性的有機半導(dǎo)體材料沉積技術(shù),可生產(chǎn)用于平面顯示器、照明和其它半導(dǎo)體應(yīng)用的有機發(fā)光二極管(OLED)和柔性電子。 OVPD以氣相傳輸原理為基礎(chǔ),是一項創(chuàng)新的有機小分子薄涂層沉積技術(shù),可實現(xiàn)低運營成本和最大生產(chǎn)效率。
在由美國普林斯頓大學(xué)Stephen R. Forrest教授研發(fā)并持有專利的工藝中,有機材料可在高真空條件下蒸發(fā),并通過惰性載氣傳輸至發(fā)生沉積現(xiàn)象的基材中。 與傳統(tǒng)方法(真空熱蒸發(fā)- VTE)相比,該技術(shù)在工藝控制、可再生性以及運營成本方面均具有重大優(yōu)勢。
美國環(huán)宇顯示技術(shù)股份有限公司(UDC)擁有OVPD專利的使用權(quán),并在1999年專門將此專利授予AIXTRON愛思強用于OVPD系統(tǒng)的研發(fā)、生產(chǎn)和營銷。在UDC的支持下,AIXTRON愛思強已研發(fā)出以O(shè)LED技術(shù)要求為重點的OVPD生產(chǎn)系統(tǒng)。 為此,AIXTRON愛思強將OVPD與獲得專利的近耦合噴淋頭(CCS)技術(shù)相結(jié)合,并成功應(yīng)用于其他AIXTRON愛思強沉積系統(tǒng)(MOCVD),實現(xiàn)半導(dǎo)體設(shè)備的批量生產(chǎn)。
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