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　　晶聯(lián)光電、四豐電子副總經(jīng)理張雪鳳

　　長(zhǎng)期以來(lái)，高端靶材供應(yīng)遭國(guó)外企業(yè)壟斷，國(guó)內(nèi)面板產(chǎn)業(yè)鏈缺乏自主性，驅(qū)使國(guó)家政策強(qiáng)力支持面板配套材料及設(shè)備的國(guó)產(chǎn)化。在2017中國(guó)國(guó)際OLED產(chǎn)業(yè)大會(huì)上，晶聯(lián)光電、四豐電子副總經(jīng)理張雪鳳詳細(xì)介紹了靶材的國(guó)產(chǎn)化進(jìn)展。

　　顯示面板常用靶材

　　靶材是通過(guò)磁控濺射、多弧離子鍍或其他類型的鍍膜系統(tǒng)在適當(dāng)工藝條件下濺射在基板上形成各種功能薄膜的濺射源，面板常用的靶材主要分為金屬靶材和陶瓷靶材兩種。在顯示面板的制程中，靶材主要用于TFT中的電機(jī)、布線材料或阻擋層材料。

　　靶材按外形可分為平面靶材和旋轉(zhuǎn)靶材兩種，其中平面靶材在面板PVD制程中正常消耗量是35%-40%，旋轉(zhuǎn)靶材則達(dá)到70%以上。張雪鳳介紹，這意味著在工業(yè)應(yīng)用中，旋轉(zhuǎn)靶材的建設(shè)效率和使用效率高于平面靶材。

　　Mo靶材和ITO靶材分別是金屬靶材和陶瓷靶材的重點(diǎn)。Mo靶材主要用于TFT的柵極、源級(jí)和漏級(jí)金屬電極。以前，ITO靶材生產(chǎn)工藝主要是熱壓燒結(jié)法、注漿燒結(jié)法，現(xiàn)在則是冷壓燒結(jié)法。

　　靶材國(guó)產(chǎn)化下游應(yīng)用的情況

　　面板已經(jīng)進(jìn)入OLED時(shí)代。目前，中國(guó)的面板產(chǎn)線（含已建、在建、計(jì)劃）達(dá)到42條，其中G8.5以上產(chǎn)線共16條（量產(chǎn)+在建）。在整個(gè)產(chǎn)業(yè)發(fā)展趨勢(shì)的帶動(dòng)和引導(dǎo)下，上下游產(chǎn)業(yè)鏈迎來(lái)新的發(fā)展機(jī)遇，

　　目前，靶材國(guó)產(chǎn)化已經(jīng)取得一定的進(jìn)展。Mo靶材在下游面板企業(yè)的國(guó)產(chǎn)化采購(gòu)量占比已居于前列；ITO靶材TFT國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程則因技術(shù)、品質(zhì)等問(wèn)題未能解決而相對(duì)較慢，但已在2016年實(shí)現(xiàn)“破冰”，現(xiàn)已進(jìn)入G8.5的測(cè)試認(rèn)證階段。其中，BOE的Mo靶、ITO靶、AI靶、Cu靶都已實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化采購(gòu)；CSOT的Mo靶、AI靶和Cu靶已實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化采購(gòu)，ITO靶已啟動(dòng)G8.5國(guó)產(chǎn)化測(cè)試認(rèn)證；天馬的Mo靶和ITO靶已啟動(dòng)國(guó)產(chǎn)化測(cè)試認(rèn)證；TRULY實(shí)現(xiàn)了Mo靶和ITO靶的國(guó)產(chǎn)化采購(gòu)。

　　在銷售上，ITO靶材方面，國(guó)產(chǎn)ITO靶材仍以TP、TN、STN為主，TFT高世代線（G8.5及以上）處于測(cè)試階段，G6、G5、G4.5、G2.5均實(shí)現(xiàn)了小批量使用；Mo靶材方面，國(guó)產(chǎn)平面Mo靶已全面替代進(jìn)口，并占較高采購(gòu)比例，而旋轉(zhuǎn)靶材仍處于測(cè)試階段。

　　張雪鳳認(rèn)為。明年全球ITO靶材的市場(chǎng)需求量將突破2000根，而且在2017年至2019年間全球需求成長(zhǎng)率預(yù)估為5%-7%，這正是ITO靶材國(guó)產(chǎn)化的意義所在。

　　國(guó)產(chǎn)靶材的發(fā)展現(xiàn)狀

　　目前國(guó)產(chǎn)化靶材的產(chǎn)能已經(jīng)突破2000噸/年，但張雪鳳認(rèn)為，靶材國(guó)產(chǎn)化仍有困難。

　　陶瓷靶材方面，ITO靶材是資金和技術(shù)密集型產(chǎn)業(yè)，目前國(guó)產(chǎn)ITO靶材雖然與進(jìn)口靶材拉開(kāi)了差距，但產(chǎn)能和日韓主流靶材企業(yè)還有差距，而且新型靶材的研發(fā)及量產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)明顯不足，需要大量的配套資金支持；IZGO靶材起步較晚，且面臨著國(guó)外企業(yè)設(shè)置的專利壁壘，進(jìn)展緩慢。

　　金屬靶材方面，Al靶、Cu靶的原材料高純銅錠和鋁錠都掌握在國(guó)外企業(yè)手上；大尺寸鉬合金靶材的研發(fā)、生產(chǎn)能力較弱。

　　此外，靶材國(guó)產(chǎn)化還存在一些綜合影響因素。一是面板產(chǎn)線的靶材國(guó)產(chǎn)化導(dǎo)入周期長(zhǎng)、測(cè)試成本高等客觀因素；二是國(guó)內(nèi)靶材產(chǎn)業(yè)尚處于成長(zhǎng)期，產(chǎn)業(yè)規(guī)模與國(guó)外相比還存在差距，抗風(fēng)險(xiǎn)能力相對(duì)較弱。

　　張雪鳳對(duì)提升國(guó)產(chǎn)靶材綜合競(jìng)爭(zhēng)力提出了一些建議。一是延伸并完善產(chǎn)品供應(yīng)鏈，提高國(guó)產(chǎn)靶材成本控制能力；二是穩(wěn)定產(chǎn)品質(zhì)量，擴(kuò)大生產(chǎn)規(guī)模，提高市場(chǎng)抗風(fēng)險(xiǎn)能力；三是緊跟市場(chǎng)新需求，提高企業(yè)新產(chǎn)品的開(kāi)發(fā)能力；四是政府相關(guān)部門的國(guó)產(chǎn)化扶持政策繼續(xù)引導(dǎo)、支持，繼續(xù)推動(dòng)產(chǎn)業(yè)鏈的配套完善。