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　　晶聯(lián)光電、四豐電子副總經(jīng)理張雪鳳

　　長期以來，高端靶材供應遭國外企業(yè)壟斷，國內(nèi)面板產(chǎn)業(yè)鏈缺乏自主性，驅(qū)使國家政策強力支持面板配套材料及設(shè)備的國產(chǎn)化。在2017中國國際OLED產(chǎn)業(yè)大會上，晶聯(lián)光電、四豐電子副總經(jīng)理張雪鳳詳細介紹了靶材的國產(chǎn)化進展。

　　顯示面板常用靶材

　　靶材是通過磁控濺射、多弧離子鍍或其他類型的鍍膜系統(tǒng)在適當工藝條件下濺射在基板上形成各種功能薄膜的濺射源，面板常用的靶材主要分為金屬靶材和陶瓷靶材兩種。在顯示面板的制程中，靶材主要用于TFT中的電機、布線材料或阻擋層材料。

　　靶材按外形可分為平面靶材和旋轉(zhuǎn)靶材兩種，其中平面靶材在面板PVD制程中正常消耗量是35%-40%，旋轉(zhuǎn)靶材則達到70%以上。張雪鳳介紹，這意味著在工業(yè)應用中，旋轉(zhuǎn)靶材的建設(shè)效率和使用效率高于平面靶材。

　　Mo靶材和ITO靶材分別是金屬靶材和陶瓷靶材的重點。Mo靶材主要用于TFT的柵極、源級和漏級金屬電極。以前，ITO靶材生產(chǎn)工藝主要是熱壓燒結(jié)法、注漿燒結(jié)法，現(xiàn)在則是冷壓燒結(jié)法。

　　靶材國產(chǎn)化下游應用的情況

　　面板已經(jīng)進入OLED時代。目前，中國的面板產(chǎn)線（含已建、在建、計劃）達到42條，其中G8.5以上產(chǎn)線共16條（量產(chǎn)+在建）。在整個產(chǎn)業(yè)發(fā)展趨勢的帶動和引導下，上下游產(chǎn)業(yè)鏈迎來新的發(fā)展機遇，

　　目前，靶材國產(chǎn)化已經(jīng)取得一定的進展。Mo靶材在下游面板企業(yè)的國產(chǎn)化采購量占比已居于前列；ITO靶材TFT國產(chǎn)化進程則因技術(shù)、品質(zhì)等問題未能解決而相對較慢，但已在2016年實現(xiàn)“破冰”，現(xiàn)已進入G8.5的測試認證階段。其中，BOE的Mo靶、ITO靶、AI靶、Cu靶都已實現(xiàn)國產(chǎn)化采購；CSOT的Mo靶、AI靶和Cu靶已實現(xiàn)國產(chǎn)化采購，ITO靶已啟動G8.5國產(chǎn)化測試認證；天馬的Mo靶和ITO靶已啟動國產(chǎn)化測試認證；TRULY實現(xiàn)了Mo靶和ITO靶的國產(chǎn)化采購。

　　在銷售上，ITO靶材方面，國產(chǎn)ITO靶材仍以TP、TN、STN為主，TFT高世代線（G8.5及以上）處于測試階段，G6、G5、G4.5、G2.5均實現(xiàn)了小批量使用；Mo靶材方面，國產(chǎn)平面Mo靶已全面替代進口，并占較高采購比例，而旋轉(zhuǎn)靶材仍處于測試階段。

　　張雪鳳認為。明年全球ITO靶材的市場需求量將突破2000根，而且在2017年至2019年間全球需求成長率預估為5%-7%，這正是ITO靶材國產(chǎn)化的意義所在。

　　國產(chǎn)靶材的發(fā)展現(xiàn)狀

　　目前國產(chǎn)化靶材的產(chǎn)能已經(jīng)突破2000噸/年，但張雪鳳認為，靶材國產(chǎn)化仍有困難。

　　陶瓷靶材方面，ITO靶材是資金和技術(shù)密集型產(chǎn)業(yè)，目前國產(chǎn)ITO靶材雖然與進口靶材拉開了差距，但產(chǎn)能和日韓主流靶材企業(yè)還有差距，而且新型靶材的研發(fā)及量產(chǎn)經(jīng)驗明顯不足，需要大量的配套資金支持；IZGO靶材起步較晚，且面臨著國外企業(yè)設(shè)置的專利壁壘，進展緩慢。

　　金屬靶材方面，Al靶、Cu靶的原材料高純銅錠和鋁錠都掌握在國外企業(yè)手上；大尺寸鉬合金靶材的研發(fā)、生產(chǎn)能力較弱。

　　此外，靶材國產(chǎn)化還存在一些綜合影響因素。一是面板產(chǎn)線的靶材國產(chǎn)化導入周期長、測試成本高等客觀因素；二是國內(nèi)靶材產(chǎn)業(yè)尚處于成長期，產(chǎn)業(yè)規(guī)模與國外相比還存在差距，抗風險能力相對較弱。

　　張雪鳳對提升國產(chǎn)靶材綜合競爭力提出了一些建議。一是延伸并完善產(chǎn)品供應鏈，提高國產(chǎn)靶材成本控制能力；二是穩(wěn)定產(chǎn)品質(zhì)量，擴大生產(chǎn)規(guī)模，提高市場抗風險能力；三是緊跟市場新需求，提高企業(yè)新產(chǎn)品的開發(fā)能力；四是政府相關(guān)部門的國產(chǎn)化扶持政策繼續(xù)引導、支持，繼續(xù)推動產(chǎn)業(yè)鏈的配套完善。