LTPS工藝與化學(xué)過濾器的應(yīng)用
摘要:摘要:LTPS產(chǎn)業(yè),可能是面板產(chǎn)業(yè)里,除了曝光機外,會在潔凈室瑞安裝化學(xué)過濾器的面板產(chǎn)業(yè)。本文擬就LTPS面板的特性出發(fā),依據(jù)化學(xué)過濾器的種類與特性,提出化學(xué)過濾器應(yīng)用的相關(guān)考慮與建議,以為產(chǎn)業(yè)參考。 關(guān)鍵詞:LTPS;化學(xué)過濾器; 引言 化學(xué)過濾器(che
閱讀:32122014年03月07日 16:18:03