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　　PI前清洗

　　PI前清洗的作用就是對需要印刷的基板進行事先的清洗，以保證在印刷時的良好效果和高的良品率。清洗前的基板上的污染物，主要來自于ITO膜層、TFT陣列等制備工藝過程，以及玻璃基板的搬運、包裝、運輸、存儲過程。

　　主要的污染物有塵埃粒子、纖維、礦物油和有機油脂等油垢、氧化鋁、二氧化硅等無機顆粒、制備加工過程遺留的殘留物、水跡、手指印等。隨著液晶顯示器制備工藝的條件越來越嚴格，對清除玻璃基板的污染物的要求也越來越苛刻。

　　清洗玻璃基板的目的，一是為了除去污染物避免其對液晶顯示器性能造成不良的影響，另一方面也可以起到改善玻璃基板表面性能，增加其與定向工藝中使用的PI材料之間的親和力，使得兩者之間有良好的結(jié)合性，從而保證工藝制作的精度，有利于產(chǎn)品的良率和性能。

　　上圖顯示的是通常的PI前清洗設(shè)備的主要構(gòu)成和工藝過程，每一個組成部分均有很重要的作用，下文將做分別介紹:

　　刷洗 （ Roll Brush wash）

　　刷洗的主要目的是利用刷子與玻璃基板的之間的摩擦作用來去處污垢。對于基板玻璃上的大于5μm的無機物顆粒的去處效果非常好。一般用柔軟耐磨的尼龍材料來制作刷洗使用的刷毛，每一根刷毛的直徑一般在0.1mm以下。下圖是刷洗裝置的側(cè)面示意圖：

　　在刷洗的過程中我們使用的是水基性的清洗劑，以增加清洗的效果。它一般是堿性的制劑、表面活性劑等成份組成的。

　　水洗 （water cleaning）

　　目前水洗過程中，最重要的清洗過程是水氣二流體清洗。二流體清洗技術(shù)是將一種高壓氣態(tài)流體（通常使用氮氣）與一種液態(tài)流體（通常為DI水）混合后，再通過一種特殊的噴嘴--超音速噴嘴，使高壓氣 體與清洗液形成的液滴以超過聲音在空氣中的傳播速度（340 米/秒）的速度噴出，當從噴嘴中噴射出的液滴噴射到運動中的被清洗物體（玻璃基板）上時，附在玻璃基板上的灰塵會被溶解剝離。此時清洗液的速度可達到1000米/秒，在被清洗物體上附著的超微小顆粒在二流體清洗液噴射時產(chǎn)生的沖擊波作用、被清洗物體表面受到?jīng)_擊時產(chǎn)生的振動作用、液滴沿被清洗物體表面高速噴射這三種作用的協(xié)同作用下而被去除。

　　該清洗方法對于1μm~3μm的細微顆粒有著極好的去處能力，并能取得對粒徑在0.1um的微細顆粒的去除率達到80%以上的效果。

　　針對傳統(tǒng)的高壓水清洗方式，二流體清洗有其優(yōu)勢。下表列出了二者的差異點：

　　二流體清洗技術(shù)不僅具有清除微細粒子效果好的優(yōu)點，而且比一般的DI水噴射清洗用水少得多。一般取得相似的清洗效果只需1/2 ~1/10的DI水。由于DI水較昂貴，又在清洗成本中占有很大的分量，所以采用這項節(jié)水的清洗技術(shù)可使清洗成本大大降低。

　　紅外線干燥（IR OVEN）

　　IR Oven的作用很簡單但也非常重要和關(guān)鍵，目的就是為了將經(jīng)過水洗的基板玻璃完全干燥，避免水汽對后續(xù)工藝的影響。

紫外線照射（Excimer UV）

　　紫外線照射清洗的原理是利用UV燈，在工作時發(fā)出的短波紫外線進行清洗。紫外線是具有較高的能量，而且波長越短的紫外線能量越高。當紫外線照射到污垢上時，污垢分子吸收光能會處于高能量的激發(fā)狀態(tài)并可能發(fā)生分子內(nèi)的化學鍵斷裂而分解。同時紫外線會使得基板表面的接觸角大大降低，這會有利于PI的印刷。

　　下圖是Excimer UV與高壓汞燈的比較：

冷卻（cooling）

　　雖然經(jīng)過E-UV的玻璃基板的溫度通常在40℃左右，但是對于PI的印刷仍然是不利的，故仍然需要冷卻工藝。經(jīng)過冷卻工藝的處理，基板溫度下降到一個合適的溫度即可。

　　冷卻工藝較為簡單，主要是利用CDA或者氮氣進行風冷。雖然簡單，但是對于CDA或者氮氣、以及設(shè)備本身仍然有著較高的要求，因為此時的基板已經(jīng)完成清洗，冷卻工藝不可以造成二次污染。所以對于CDA或者氮氣和設(shè)備的潔凈度要求很高，通常設(shè)備內(nèi)部的潔凈度要求要達到10級。

　　清洗設(shè)備構(gòu)成

　　清洗機主體部分主要由：傳送滾軸, 研磨帶部分,高壓噴淋部分, 最終噴淋部分,風刀等單元組成（如圖）

201 驅(qū)動單元 202 漂洗單元 203 研磨帶清潔單元

　　204 高壓噴淋部分 和最終噴淋部分 205 風刀

　　工藝流程

　　主要性能指標

獨立清洗、貼片設(shè)備

　　產(chǎn)品小于3英寸，使用Dipping方式清洗、獨立偏光片貼附設(shè)備完成生產(chǎn)。本清洗機是用來清洗產(chǎn)品表面，去除表面雜質(zhì)并烘干，為后續(xù)貼片工序做好準備。

　　先利用洗劑、DIW加上超聲震蕩，使表面雜質(zhì)脫落融入洗劑，再利用DIW加超聲震蕩、熱烘去除表面殘留的洗劑、水份等，達到清洗目的。

　　清洗設(shè)備構(gòu)成和主要性能指標

　　清洗設(shè)備構(gòu)成如下：

　　投入段 => 洗凈段 => 熱烘段 => 取出段

清洗機構(gòu)成圖

　　投入段：

　　2-3個承載位置，傳感器感知工裝籃有無，采用氣缸升降移載方式投入，作動：Z向氣缸上升 → X向氣缸右移 → Z向氣缸下降 → X向氣缸退回原點 → 依循此方式將工裝籃投入到洗凈承載座上.注：本機構(gòu)設(shè)有程序保護功能及SENSOR檢知。

　　洗凈段：

　　主要構(gòu)成；承載位1個，洗劑槽2個，噴淋槽1個，洗凈槽2個，慢提拉槽1個。

　　承載位：1個，工裝籃移入承載位置之后，立刻送入后段洗劑槽。#p#分頁標題#e#

　　洗劑槽：2個，使用洗劑(人工添加)+純水，配超聲震蕩加強清洗效果，超聲強度最大1800W，頻率40/80kHz雙頻選擇，洗劑槽溫度設(shè)置在40-50度。

　　噴淋槽：1個，噴淋純水，純水來自后段洗凈槽，噴淋時需要左右往復移動以增強噴淋效果，溫度在40-50度。

　　洗凈槽：2個，純水，配超聲震蕩加強清洗效果，超聲強度最大1800W，頻率40/80kHz雙頻選擇，洗劑槽溫度設(shè)置在50-70度。

　　慢提拉槽：1個，工裝籃內(nèi)玻璃基板自純水中緩慢上升利用水的表面張力將附著水珠引下，以降低含水量而加速水份蒸發(fā)。

　　熱烘段：

　　熱烘段構(gòu)成：熱烘承載位置1個，熱烘工位2-4個。

　　洗凈后的工裝籃移至熱烘承載位置，設(shè)備自動將其移入熱烘工位，進行熱烘處理，利用熱風循環(huán)達到烘干水份的效果，處理溫度可設(shè)置，一般在70度左右。采用氣缸升降移載方式移動。

　　取出段：同投入段。

　　清洗主要工藝參數(shù)和工藝質(zhì)量評價

　　主要工藝參數(shù)有：

　　節(jié)拍時間：通常360秒，可以根據(jù)實際生產(chǎn)需要調(diào)節(jié)。

　　超聲強度：最大1800W，雙頻設(shè)置，根據(jù)實際生產(chǎn)效果調(diào)節(jié)選擇最佳的組合。

　　清洗溫度：洗劑槽溫度設(shè)置在40~50度；洗凈槽溫度設(shè)置在50~70度；慢提拉槽在75度左右；熱烘處理溫度70度左右。生產(chǎn)中會根據(jù)實際清洗狀況作調(diào)整。

　　工藝質(zhì)量評價：

　　洗出后產(chǎn)品表面潔凈無顆粒而且完全干燥。如果清洗不完全，需要調(diào)整清洗機的清洗條件，或者返工處理。

　　清洗過程中需要監(jiān)控清洗劑槽的PH值，限制在一定的范圍內(nèi)，否則會對產(chǎn)品的質(zhì)量有嚴重的影響。

　　切割工序

　　切割工序的目的

　　液晶面板生產(chǎn)過程中，會在母板上形成很多液晶盒，切割工藝的目的是將貼合固化好的玻璃基板組，分離成具有最終所需要的尺寸的單個液晶盒。

　　切割工藝的基本原理

　　利用高滲透刀輪以一定的壓力和速度切割玻璃基板，高滲透刀輪進入玻璃后使玻璃產(chǎn)生裂紋，開始部位由于玻璃壓縮力的作用產(chǎn)生肋狀裂紋（Rib Mark），然后在玻璃內(nèi)部張力作用下裂紋向下延伸產(chǎn)生平直的垂直裂紋（Median Crack）和水平裂紋（Lateral Crack）,垂直裂紋生長到基板厚度的80%～90%，使玻璃斷裂。

切割工藝的設(shè)備構(gòu)成和主要性能指標

　　MDI MPL1300LC In-line切割機

　　該設(shè)備主要用于4.5代液晶顯示面板（730×920mm）的快速高精度切割,把基板切割成四分之一或六分之一面板。設(shè)備通過機械臂實現(xiàn)自動上料，并通過標記自動對位,節(jié)距信息輸入及刀頭條件的程序化設(shè)定,實現(xiàn)自動操作能力。

　　該設(shè)備主要由Robot Loader,MSB1部分，旋轉(zhuǎn)平臺，MSB2部分，上下刀頭切割機構(gòu)，輸出傳送帶等構(gòu)成。

　　MPL1300LC主要性能指標：

MDI MM500多刀頭切割機

　　該設(shè)備主要用于In-line切割機切割后的四分之一或六分之一液晶顯示面板的快速高精度切割，把面板切割成10英寸以下的單片玻璃。設(shè)備由人工上下料及翻轉(zhuǎn)，通過標記自動對位，刀頭節(jié)距信息輸入及刀頭條件的程序化設(shè)定，實現(xiàn)自動對位切割。

　　該設(shè)備主要由自動對位裝置，多刀頭切割系統(tǒng)，90度回轉(zhuǎn)平臺，控制單元，防靜電裝置，安全防護光柵等構(gòu)。

　　MM500 主要性能指標：