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　　三星顯示將研究新一代IT用8.5代OLED蒸鍍技術(shù)。雖然能夠大幅擴大經(jīng)濟性的8.5代采用垂直蒸鍍?nèi)允亲顑?yōu)選擇，但為了應(yīng)對不確定性，水平蒸鍍技術(shù)也很有可能同時開發(fā)。IT用OLED是指適用于平板電腦和筆記本電腦等IT產(chǎn)品的OLED。

　　根據(jù)韓媒Thelec報道，三星顯示最近要求日本Canon Tokki確保開發(fā)2臺IT用8.5代（2200x2500mm）有機發(fā)光二極管（OLED）半切（Half Cut）、水平方式蒸鍍機所需的Slot。Slot是在簽訂購買意向書 （LOI）和正式訂單 （PO） 之前的口頭請求。

　　顯示設(shè)備廠商在對設(shè)備制造日程進行具體化時，會反映面板廠商提出的確保Slot的要求。因為在要求確保Slot后，緊接著進行購買意向書和正式訂貨的事例很多。業(yè)界也對三星顯示的"確保Slot"要求表示："這意味著將研究IT用8.5代OLED蒸鍍技術(shù)。"

　　三星顯示之所以要求Canon Tokki確保8.5代半切式水平蒸鍍Slot，是因為目前在與日本Ulvac正在進行的8.5代全切式垂直蒸鍍機開發(fā)上面臨困難。

　　與半切式水平蒸鍍機相比，全切式垂直蒸鍍機可以減輕 FMM 中心區(qū)域因重量而下垂的現(xiàn)象，因為將紅（R） 綠 （G） 藍(lán) （B） OLED 有機物蒸鍍所需的精細(xì)金屬掩模版 （FMM） 垂直于地面。此外，全切式垂直蒸鍍在薄膜晶體管（TFT）工藝后，基板未進行半切的狀態(tài)下蒸鍍有機物，使整個過程可以縮短。

　　但是垂直蒸鍍的量產(chǎn)性尚未得到驗證。在垂直蒸鍍中，需要更高的溫度才能將氣化的有機物輸送到一邊，然后蒸鍍在玻璃基板上。當(dāng)熱量過多時，有機物特性可能會發(fā)生變化。另外，確保重復(fù)蒸鍍2米以上的8.5代玻璃基板的蒸鍍工藝，并在無損傷的情況下移動的物流技術(shù)也并非易事。

　　迄今為止，OLED智能手機等主要使用第六代（1500x1850mm）半切式水平蒸鍍技術(shù)。因此，雖然有觀點認(rèn)為8.5代全切式垂直蒸鍍機在經(jīng)濟性方面會更好，但在設(shè)備開發(fā)方面并不容易。

　　另外，三星顯示的此次確保Slot的要求，也反映了首先向三星電子供應(yīng)IT用OLED的日程，以及Canon Tokki的設(shè)備生產(chǎn)能力等。

　　來源：韓媒Thelec