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科學(xué)建筑設(shè)計是潔凈生產(chǎn)重要保障(2-2)

編輯:chocolate 2011-03-10 09:08:39 瀏覽:1658  來源:互聯(lián)網(wǎng)

  防火與疏散可因地制宜

  對于電子工廠潔凈廠房內(nèi)生產(chǎn)工作間的火災(zāi)危險性,應(yīng)按照現(xiàn)行國家標準《建筑設(shè)計防火規(guī)范》(GB50016)進行分類。《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計 規(guī)范》附錄中列出了電子工廠潔凈廠房生產(chǎn)工作間的火災(zāi)危險性分類的舉例。電子工廠潔凈廠房中,有使用丁酮、丙酮、異丙醇等易燃化學(xué)品的潔凈室,這些化學(xué)品 均屬甲類物質(zhì),因此將電子工廠潔凈廠房中包含這些化學(xué)品的儲存間、分配間列為甲類。在集成電路潔凈廠房中常常使用氫氣、硅烷等可燃、有毒氣體,它們均屬于 甲類氣體,因此將電子工廠潔凈廠房中包含可燃、有毒氣體的儲存、分配間列為甲類。集成電路和半導(dǎo)體分立器件工廠的外延間,由于其生產(chǎn)過程中需使用氫氣、硅 烷等可燃氣體,因此在現(xiàn)行國家標準《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》(GB50073)附錄A中被列為甲類。但是近年來,隨著科學(xué)技術(shù)的進步,分立器件和集成電路生產(chǎn) 所采用的外延設(shè)備的設(shè)計、制造技術(shù)的不斷提高,各種氣體供應(yīng)、控制系統(tǒng)、設(shè)備和附件設(shè)計、制造技術(shù)的不斷提高,氣體報警設(shè)施的安全可靠性得到了長足的進步和提高。調(diào)查表明,分立器件和集成電路生產(chǎn)所采用的外延設(shè)備已配置有氫氣泄漏和超濃度排放報警及其連鎖控制裝置;外延間的氫氣供應(yīng)管路設(shè)有緊急切斷閥,一 旦發(fā)生事故或火情時自動切斷氫氣供應(yīng);外延間按建筑特點在可能積聚氫氣處設(shè)置氫氣報警裝置和事故排風(fēng)連鎖控制裝置等安全措施。因此,《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè) 計規(guī)范》規(guī)定,在具備上述安全技術(shù)措施的條件下,宜將半導(dǎo)體分立器件和集成電路生產(chǎn)等所使用的外延間列為丙類。

  防火分區(qū)是采用具有一定耐火性能的分隔構(gòu)件劃分的,能在一定時間內(nèi)防止火災(zāi)向同一建筑物的^***部分蔓延。在建筑物內(nèi)采取劃分防火分區(qū)這一措施, 可以在建筑物一旦發(fā)生火災(zāi)時,有效地把火勢控制在一定的范圍內(nèi),減少火災(zāi)損失,同時可以為人員安全疏散、消防撲救提供有利條件。自20世紀90年代末以 來,我國建設(shè)了一批大規(guī)模集成電路芯片生產(chǎn)用潔凈廠房、TFT-LCD(薄膜晶體管液晶顯示器)生產(chǎn)用潔凈廠房,其潔凈室面積和防火分區(qū)面積均大大超過現(xiàn) 行國家標準《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》(GB50073)、《建筑設(shè)計防火規(guī)范》(GB50016)規(guī)定的面積。由于上述電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程的連續(xù)性和自動化傳輸 設(shè)施的貫通性,使?jié)崈羰?區(qū))無法進行防火分區(qū)的分隔?!峨娮庸I(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》規(guī)定:若因電子產(chǎn)品生產(chǎn)的工藝要求使防火分區(qū)確不可分時,在采取可靠 的強化消防措施后,此類潔凈廠房的防火分區(qū)最大容許建筑面積可以放寬。

  安全疏散設(shè)計是建筑防火設(shè)計的一項重要內(nèi)容。潔凈廠房的安全疏散設(shè)施主要包括安全出口、疏散樓梯、走道和門等。潔凈廠房的安全疏散距離也應(yīng)符合 現(xiàn)行國家標準《建筑設(shè)計防火規(guī)范》(GB50016)的規(guī)定。不過,由于電子潔凈廠房具有特殊性,《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》也有針對性地制定了規(guī)則。 例如,高世代TFT-LCD廠房由于其生產(chǎn)設(shè)備體積大、連續(xù)性生產(chǎn)、自動化傳輸?shù)纫蛩兀率挂獙崿F(xiàn)廠房內(nèi)任一點到安全出口的距離符合GB50016的規(guī)定 十分困難,并且此類廠房中操作人員較少,人員密度極低。因此,《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》規(guī)定:對于玻璃基板尺寸大于1500mm×1850mm的 TFT-LCD廠房,當潔凈生產(chǎn)區(qū)人員密度小于0.02人/m 2時,其疏散距離可按工藝需要確定,但不得大于120m。

  潔凈室構(gòu)造和裝修須引起重視

  潔凈室的構(gòu)造處理和材料選擇應(yīng)充分考慮不同的凈化級別、結(jié)構(gòu)形式和室內(nèi)建筑設(shè)計的要求。除一般的要滿足保溫隔熱、隔音防振等要求外,最重要的是 要保證其氣密性和建筑材料表面不產(chǎn)塵、不積塵的要求。另外還要注意裝修及人體產(chǎn)生的靜電效應(yīng)。所有的構(gòu)造設(shè)計要力求簡潔,盡量減少凹凸和不必要的裝飾,表 面要具有不產(chǎn)塵、不聚塵和易清掃等特點。因此,對潔凈建筑來說,科學(xué)的建筑構(gòu)造、室內(nèi)裝修比建造^***類型的生產(chǎn)廠房更加重要。

  氣密性是廠房圍護結(jié)構(gòu)設(shè)計的一個關(guān)鍵。氣密性不良會導(dǎo)致潔凈空氣的外泄和外界污染空氣的侵入,破壞潔凈室室內(nèi)環(huán)境的潔凈度。圍護結(jié)構(gòu)的氣密質(zhì)量取決于墻、頂棚、門窗以及^***附加配件的構(gòu)造和施工,這些都是應(yīng)該引起重視的問題。

  建筑材料的產(chǎn)塵是一種不可忽視的污染源。實踐證明,即使在無碰撞的情況下,建筑材料表面也在不斷地向周圍空間散發(fā)微粒子,而這些都與材料的使用 狀態(tài)、質(zhì)量、老化程度等有著直接關(guān)系。在電子工廠潔凈室內(nèi),某些電子產(chǎn)品會因化學(xué)污染物在產(chǎn)品表面降落沉積從而影響產(chǎn)品質(zhì)量或在后續(xù)生產(chǎn)過程中發(fā)生化學(xué)反 應(yīng),造成次品以至廢品,所以電子工廠潔凈室裝飾材料(包括密封材料)不得采用對電子產(chǎn)品有影響的材料。在進行潔凈室設(shè)計或選用裝飾材料時,應(yīng)與具體項目的 業(yè)主方或生產(chǎn)工藝提供方進行協(xié)調(diào)后確定。

  另外,由于潔凈室內(nèi)的裝修用料一般均為高分子合成材料,而各種合成纖維織物和絕緣材料制成的工作服、工作鞋在動摩擦下均會不斷產(chǎn)生靜電。物體帶 靜電后,會產(chǎn)生力學(xué)、放電和感應(yīng)三方面的問題,并會引起^***不良影響,危害極大。因此對于潔凈室的室內(nèi)裝修設(shè)計特別是地面設(shè)計的消靜電措施以及去靜電無塵 工作服的研究等也應(yīng)引起極大的重視。

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