富士膠片針對正在開發(fā)之中的使用有機光電轉換薄膜的CMOS傳感器(有機CMOS傳感器),發(fā)表了大幅遏制光線入射角變化造成的感度下降的成果(圖1)。
圖1:實現接近理論極限的特性
富士膠片開發(fā)的有機CMOS傳感器幾乎沒有入射角依存性,因此具有容易抑制感度下降的特性(a)。為了獲得這種特性,有機CMOS傳感器的結構進行了改進(b)。(根據富士膠片的資料制作)
?。ㄗ?)富士膠片在2006年利用有機CMOS傳感器成功拍攝單色圖像,在2009年成功拍攝了彩色圖像。
使用硅的普通CMOS傳感器如果入射角超過30°,輸出電壓會大幅降低,與之相比,這次的開發(fā)品沒有出現明顯的電壓下降。富士膠片表示,這是通過“改進有機光電轉換薄膜的材料和生成工藝”,輸出電壓的角度依賴性達到了與攝像元件的理論極限基本相同的水平。由此有機CMOS傳感器有望實現超越使用硅的CMOS傳感器的窄間距化。
雖然高感度CMOS傳感器的代表有背面照射型(backside illumination:BSI)傳感器,但實際上,入射角依賴性和窄間距化方面存在極限。間距越窄,入射光進入相鄰像素的串擾(混色)就越嚴重,“像素間距小于0.9μm的BSI傳感器實現起來相當困難”(業(yè)內人士)。
對此,此次開發(fā)的有機CMOS傳感器超過了BSI傳感器的極限。舉例來說,當入射角達40度時,可以得到約為BSI傳感器2倍的輸出電壓。這種特性在窄間距下也可以維持。這是因為有機光電轉換膜的厚度僅為0.5μm,光線難以進入相鄰像素。
剩下的問題是提高畫質。在現階段,畫質劣化的原因——隨機噪聲高達38電子(rms值)。富士膠片介紹說“原因是被稱為kTC噪聲的電荷熱波動產生的噪聲。目前,(本公司)正與其他公司合作開發(fā)通過改良信號處理電路解決問題的方案”。如果隨機噪聲能夠抑制到個位數電子,那么有機CMOS傳感器就有望投入實用。
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