PVD和CVD無機(jī)薄膜沉積方式大全
摘要:無機(jī)薄膜沉積方式 在FDP 的生產(chǎn)中, 在制作無機(jī)薄膜時(shí)可以采用的方法有兩種:PVD 和CVD (本文跟從眾多資料的分類法, 將VE 和VS 歸于PVD 而ALD 歸于CVD)。 Physical Vapor Deposition (PVD) Physical Vapor Deposition (PVD) 亦稱為物理氣象沉淀技術(shù)。該技術(shù)在
閱讀:31632017年07月31日 16:23:48